薄膜声表面波器件的制备研究进展

• 作者: 张树人 李健雄 杨成韬 王锐
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 声表面波器件 综述 压电薄膜 叉指换能器
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 8-9
• 页数: 2页
• 分类号: TN65
• 字数: 1966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.02.003

摘要

介绍了薄膜声表面波器件的发展历史和特点,以及压电薄膜声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的一些概况,并展望了其今后的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	187	1176	16.0	24.0
2	杨成韬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	67	255	8.0	12.0
3	王锐	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	8	32	3.0	5.0
4	李健雄	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	5	18	3.0	4.0