用残余气体分析仪测量和计算分压强

• 作者: 彭晓华 肖琼
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 残余气体分析 离子流 分压强
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 16-17,21
• 页数: 3页
• 分类号: TN107
• 字数: 1748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2008.05.005

摘要

残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图,并给出各个质荷比峰的离子流值,但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强.在考虑到组分气体对某个峰的贡献可以线性叠加的基础上,本文介绍了峰的离子流与分压强、仪器灵敏度、传输几率和丰度之间的关系,从而得到了利用RGA质谱峰的离子流计算残余气体分压的公式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖琼	中科院高能物理研究所	4	3	1.0	1.0
2	彭晓华	中科院高能物理研究所	3	3	1.0	1.0