多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术和设备组成

• 作者: 侯炜强
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 铸锭炉 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺新技术
• 页码范围: 291-293
• 页数: 3页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2008.05.012

摘要

多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否生成出合格的硅锭,而合格的硅锭直接决定着硅片制成的电池的光电转换效率.比较详细地介绍了多晶硅铸锭炉典型的生产工艺、设备组成和控制系统.重点介绍了控制系统的硬件控制结构、软件流程以及在设计时体现出的独到的设计理念和创新性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯炜强	中国电子科技集团公司第二研究所	4	27	3.0	4.0