纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究

• 作者: 丁建宁 凌智勇 坎标 石超燕 程广贵 范真
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA) 弹性复合薄膜 DLC膜 偶联剂 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 207-212
• 页数: 6页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 3407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2008.03.004

摘要

利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2.7 nm的DLC膜,采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析,用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度,用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能.结果表明,以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷(187)为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷(APS)为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低,薄膜的最上层为DLC膜.在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数(0.117～0.137),在低载荷条件下,含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜,且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳;在高载荷条件下,硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌智勇	江苏大学微纳米科学技术研究中心	54	400	12.0	17.0
2	丁建宁	江苏大学微纳米科学技术研究中心	146	769	14.0	19.0
6	范真	江苏大学微纳米科学技术研究中心	61	532	11.0	20.0
7	程广贵	江苏大学微纳米科学技术研究中心	48	176	8.0	12.0
8	石超燕	江苏大学微纳米科学技术研究中心	2	11	1.0	2.0
9	坎标	江苏大学微纳米科学技术研究中心	3	22	2.0	3.0