LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进

• 作者: 冯亚云 凌志华 夏洋 杜寰 欧毅 王文博 王晓慧 韩郑生 黄苒
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: LCOS 微显示 CMP 镜面电极
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 629-632
• 页数: 4页
• 分类号: TN27|TN873+.93
• 字数: 1597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2008.05.021

摘要

介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进.通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现像素电极区域的局部平坦化,又因为沟槽不作为显示区域,对整体显示效果影响较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩郑生	中国科学院微电子研究所	122	412	10.0	12.0
2	杜寰	中国科学院微电子研究所	41	108	5.0	6.0
3	夏洋	中国科学院微电子研究所	67	325	9.0	14.0
4	冯亚云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	20	3.0	4.0
5	欧毅	中国科学院微电子研究所	17	77	5.0	7.0
6	王文博	中国科学院微电子研究所	24	448	7.0	21.0
7	王晓慧	中国科学院微电子研究所	13	34	4.0	4.0
8	黄苒	中国科学院微电子研究所	7	12	2.0	3.0