共振隧穿二极管型光探测器和光调制器

• 作者: 于欣 牛萍娟 王伟 郭维廉 陈乃金
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿二极管 光电器件 光探测器 光调制器
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TN312+.2
• 字数: 2941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.01.003

摘要

将共振隧穿二极管(RTD)的核心结构--双势垒系统与光探测器和调制器的原理相结合可构成共振隧穿光探测器和共振隧穿光调制器.这些器件既保持了RTD高频、高速的特点,同时又具备了光探测器和光调制器原有的功能,可用于光电集成电路.介绍了这种具有代表性的RTD型光电器件的工作原理、器件结构、制造工艺、器件参数测试等,为此类器件在国内的设计和研制奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛萍娟	天津工业大学信息与通信学院	123	617	13.0	17.0
2	郭维廉	天津工业大学信息与通信学院	145	419	10.0	12.0
4	王伟	天津工业大学信息与通信学院	21	65	4.0	7.0
5	于欣	天津工业大学信息与通信学院	13	48	4.0	6.0