关于涡轮分子泵的安全使用问题

• 作者: 杨乃恒
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 安全使用 故障分析 安全对策
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 真空获得设备与系统
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 5003字
• 语种: 中文

摘要

本文叙述了关于涡轮分子泵安全使用的一些技术问题.首先对涡轮分子泵的构造特点作了介绍,其次对涡轮分子泵的故障类型、损坏原因,进行了分析.最后从设计和使用上的安全对策进行了讨论,以便更好的使用涡轮分子泵.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨乃恒		40	356	12.0	17.0