适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器

• 作者: 倪学文 王展飞 莫邦燹 陈江华 项斌
• 来源期刊: 北京大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容加速度计 读出电路 低通滤波器 CMOS
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: TN432
• 字数: 2278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0479-8023.2008.01.018

摘要

提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100～8000kHz.信号频率低于500Hz 时选用开关电容低通滤波器,高于500 Hz 的信号则由连续时间低通滤波器来处理.该低通滤波器采用1.2μm的 2P2M 的 N-阱 CMOS 工艺实现.设计中分析并解决了因时钟信号引起的制约开关性能的因素:优化的开关时序消除了电荷注入引起的非线性;时钟馈通敏感节点增加虚拟开关抵消了耦合电荷;高PSRR共源共栅折叠式差分输入结构,有效地抑制了来自电源的干扰,改善了电路的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	莫邦燹	北京大学微电子学研究所	19	111	6.0	10.0
2	倪学文	北京大学微电子学研究所	15	60	5.0	7.0
3	项斌	北京大学微电子学研究所	7	42	4.0	6.0
4	陈江华	北京大学微电子学研究所	3	14	2.0	3.0
5	王展飞	北京大学微电子学研究所	2	10	1.0	2.0