溶胶-凝胶法制备多孔SiO2薄膜开裂问题研究进展

• 作者: 方欣 胡文成 董东
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔SiO2 薄膜 开裂 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2008,（z3）
• 所属期刊栏目: 纳米合成材料
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 5145字
• 语种: 中文

摘要

综述了用溶胶-凝胶法制备多孔SiO2薄膜过程中薄膜开裂问题的研究进展,讨论了影响薄膜开裂的各种因素.对各种可能导致开裂的因素如溶剂、化学添加剂、表面改性、干燥过程等进行了开裂原理分析,并给出了部分解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡文成	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	27	235	9.0	14.0
2	董东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	6	65	3.0	6.0
3	方欣	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	19	1.0	2.0