翘板式射频MEMS开关的研究

• 作者: 刘茂哲 叶甜春 景玉鹏 李全宝 焦斌斌 罗小光 高超群
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频开关 单晶硅 微机电系统(MEMS) 静电驱动 驱动电压 共面波导(CPW)
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 282-286
• 页数: 5页
• 分类号: TH703|TN304.12
• 字数: 2176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.05.008

摘要

提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关,给出了理论模拟,结构分析结果和工艺制作方法.该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分,可以缓解薄膜应力变形.翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题,并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题.利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低,有限元理论模拟驱动电压为5-10 V;采用翘板式结构增加了开关的使用周期,而且结构自身具有单刀双掷特点,可以直接应用于高频通信的频道选择.给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论.