微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率

• 作者: 吕宪义 李博 李红东 汪剑波 金曾孙 韩柏
• 来源期刊: 新型炭材料
• 学科: 化学
• 关键词: 微波PCVD 透明自支撑金刚石膜 红外透过率
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 245-249
• 页数: 5页
• 分类号: O613.71
• 字数: 897字
• 语种: 中文

摘要

采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300um的大尺寸透明自支撑金刚石膜.在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1-4000cm-1红外波段范同内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1um/h-2um/h.在体积分数4%甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚石膜,其生长速率达到7um/h～8um/h,经过两面抛光之后膜厚为260um的金刚石膜的在500cm-1～4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到60%左右,而且膜中心和边缘区的红外透过率基本相同.这些结果为大尺寸金刚石厚膜在红外窗口上的实际应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩柏	哈尔滨理工大学电气与电子工程学院	5	59	4.0	5.0