溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电氧化物薄膜的研究进展

• 作者: 徐模辉 王华
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: 溶胶-凝胶法 氧化锌铝(ZAO) 透明导电氧化物薄膜(TCO)
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 综述·动态
• 页码范围: 31-36
• 页数: 6页
• 分类号: TM205.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8887.2008.01.010

摘要

溶胶-凝胶法是一种高效的制膜技术.本文综述了溶胶一凝胶法制备氧化锌铝(ZAO)透明导电氧化物薄膜(TCO)的原理、特点及研究进展,指出了采用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜今后急需解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	98	463	13.0	17.0
2	徐模辉	桂林电子科技大学信息与通信学院	4	28	2.0	4.0