柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

• 作者: 任秋实 倪鹤南 吴义伯 徐爱兰 惠春 李刚 邢玉梅
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 柔性基底 视网膜修复
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 4109字
• 语种: 中文

摘要

采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.