连续快速常压化学气相沉积法制备TiO2自清洁镀膜玻璃

• 作者: 刘军波 宋晨路 应益明 翁伟浩 翁文剑 韩高荣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2 常压化学气相沉积 自清洁 镀膜玻璃
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TB321|TG146.4
• 字数: 3157字
• 语种: 中文

摘要

以四异丙醇钛(TTIP)为先驱体,采用常压化学气相沉积(APCVD)法模拟镀膜工艺过程,制备出了TiO2自清洁镀膜玻璃.通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见透射光谱(UV-Vis)等手段对样品进行分析,并研究了基板温度和移动速率与薄膜性能之间的关系.结果表明,当基板温度升高至580 ℃时,能够形成平整致密的薄膜,薄膜的结晶度,光催化性能和亲水性能也达到最好;基板移动速度下降到1.5 m/min时,薄膜的结晶度,光催化性和亲水性也可得到改善.依据光催化性能和亲水性能测试,表明沉积TiO2薄膜的最佳条件为基板温度580℃,基板速度1.5 m/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	浙江大学材料科学与工程学系	187	1971	24.0	35.0
2	翁文剑	浙江大学材料科学与工程学系	79	1088	20.0	30.0
3	宋晨路	浙江大学材料科学与工程学系	37	372	10.0	18.0
4	翁伟浩	浙江大学材料科学与工程学系	2	40	2.0	2.0
5	刘军波	浙江大学材料科学与工程学系	2	57	2.0	2.0
6	应益明	浙江大学材料科学与工程学系	3	57	2.0	3.0