高g微加速度计的研究

• 作者: 刘俊 孟美玉 石云波 祁晓瑾
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻加速度计 高g 过载 空气阻尼
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 222-225
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 2290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.008

摘要

针对侵彻过程中传感器过载失效的问题,提出了-种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器.该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5 μm,为系统提供空气阻尼使其处于最佳阻尼状态,同时玻璃底盖起到了过载保护作用,仿真分析表明该结构可承受200 000 g.的加速度载荷.最后对加工出的加速度计进行初步的测试,其灵敏度为4.5μV/g,线性度为3.1%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟美玉	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	60	5.0	6.0
2	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
3	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	108	610	14.0	20.0
4	祁晓瑾	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	69	5.0	5.0