新型分子增压泵的性能测试

• 作者: 储继国 张素平 杨晓天 蒙峻
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 清洁、大流量差分系统 新型分子/增压泵 返油率 残余气体分析 抽速
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 真空获得设备与系统
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 2446字
• 语种: 中文

摘要

本文详细介绍了新型分子增压泵的测试方法,对分子增压泵的极限真空、返油率、抽速及工作频率等性能进行了测试分析.测试结果表明,该泵可以在过渡流段替代罗茨泵来获得清洁真空系统.在兰州重离子加速器TR2终端真空差分系统前两级选用了新型分子增压泵,并根据测试结果确定其工作频率.最后给出了在TR2终端真空差分系统使用分子增压泵后的实验结果,表明该泵能够满足清洁、大流量差分真空系统的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓天	中国科学院近代物理研究所	14	66	5.0	7.0
2	蒙峻	中国科学院近代物理研究所	19	59	4.0	7.0
6	张素平	中国科学院近代物理研究所	4	18	2.0	4.0
10	储继国		1	2	1.0	1.0