用定容式气体流量计进行真空规校准方法的研究

• 作者: 张涤新 赵澜
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 定容式气体流量计 校准 真空规
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 202-207
• 页数: 6页
• 分类号: TB771
• 字数: 3490字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2008.04.004

摘要

提出了一种采用定容式气体流量计校准真空规的方法,并对校准装置进行了不确定度的分析.定容式气体流量计有2种工作模式:采用定容法模式可以提供(10-8～10-2)Pa·m3/s的流量,采用固定流导法模式可以提供(10-6～10-11)Pa·m3/s的流量,2种方法组合提供的标准流量范围变宽,延伸了流量下限.定容式气体流量计相对于恒压式气体流量计,有结构简单、操作方便等特点.采用定容式气体流量计校准真空规的范围为(10-6～10-2)Pa,合成标准不确定度为(0.67～1.74)%.并用恒压式气体流量计校准同一分离规进行了比较,2个校准结果一致性好于5.7%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涤新		62	468	12.0	17.0
2	赵澜		28	161	8.0	10.0