热键合制作Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12复合晶体

• 作者: Gilbert Bourdet J.-C. Chanteloup 徐军 王晓丹 王静雅 赵志伟
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: Yb:YAG/YAG 键合质量 应力 光学均匀性 热键合
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 125-129
• 页数: 5页
• 分类号: TN244
• 字数: 2638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.01.024

摘要

采用热键合技术制备了Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12(Yb:YAG/YAG)复合晶体,对复合晶体进行了结构表征和键合质量检测.利用光学显微镜和扫描电镜观察了复合晶体横截面的形貌;在偏光显微镜下观察键合区域的应力,利用干涉条纹来表征复合晶体的光学均匀性;通过红外透过光谱的测量来检测复合晶体的键合质量.实验结果表明:热键合技术制备的Yb:YAG/YAG复合晶体键合界面处无界面缺陷,不存在复合界面空间过渡层,光学均匀性良好.