基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统

• 作者: 任豪 李康业 王巧彬 罗宇强 范力维
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 光纤光谱仪 光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 综合监控 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 自动控制
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2010字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚.详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜实验.实验结果表明该系统能够实现光学镀膜在线实时监控,且非常适合国产镀膜设备的升级改造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宇强	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	20	87	6.0	8.0
2	任豪	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	35	185	8.0	12.0
3	王巧彬	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	12	57	4.0	7.0
4	范力维	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	8	50	4.0	7.0
5	李康业	广州市光机电技术研究院广东省现代控制与光机电技术公共实验室	9	31	2.0	5.0