单晶硅太阳电池扩散薄层电阻和SiNx薄膜对电池短波响应的影响

• 作者: Huang Yuewen 夏明海 孙励斌 季凯春 张立波 张辉 徐晓群 李华维 黄岳文
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄层电阻 短波响应 SiNx薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 400-403
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2008.04.004

摘要

分别对不同薄层电阻的扩散片制成的单晶硅太阳电池和同样薄层电阻不同频率沉积的SiN薄膜的单晶硅太阳电池的光谱响应进行了比较,从理论上分析了随着薄层电阻的增大和采用低频(40 kHz)的PECVD沉积SiNx,薄膜,短波响应得到提高的原因.光谱响应峰值随着薄层电阻的增大逐渐向短波方向移动.