MEMS钹式压电复合换能器的设计与仿真

• 作者: 李邓化 许晓飞
• 来源期刊: 北京机械工业学院学报（综合版）
• 学科: 工学
• 关键词: 压电复合 钹式换能器 MEMS ANSYS软件 Intellisuite软件 位移 等效压电常数
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 1785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6864.2008.01.007

摘要

在专业MEMS CAD软件ANSYS和Intellisuite中创建MEMS钹式压电复合换能器的实体模型,通过施加载荷分析钹式换能器在MEMS技术尺寸范围内的性能,包括模拟分析MEMS钹式压电复合换能器的力与位移的性能关系以及等效压电常数d33e与MEMS钹式压电复合换能器形状参数的性能关系,仿真结果验证了所设计模型的有效性.设计了MEMS钹式压电复合换能器的工艺流程,在Intellisuite软件中给出相应结构物理模拟参数,工艺仿真结果验证了设计工艺理论上的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许晓飞	北京信息科技大学自动化学院	42	84	5.0	6.0
2	李邓化	北京信息科技大学自动化学院	59	259	10.0	12.0