结合烷烃硫醇小分子自组装单层的原子光刻技术——以壬烷硫醇和12烷硫醇为例

• 作者: 仓桥光纪 山内泰 巨新 铃木拓
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子光刻 掩模 自组装单层
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TG115.21+5.7|TN16
• 字数: 2489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2008.01.009

摘要

采用不同网格尺寸的透射电镜铜网作为掩模,以烷烃硫醇类小分子自组装单层作为光刻胶,光学质量的云母为衬底,用亚稳氦原子光刻技术制备具有纳米台阶的金膜图形,最终用原子力显微镜分析表征.结果表明:这种技术可将具有钠米台阶的正负图形很好地传递到金膜,具有高的可信度.同时,在不同时的实验中光刻图形的重复性很好.