激光划痕法膜基界面的温度场及应力场分析

• 作者: 冯爱新 周建忠 唐翠屏 殷苏民 程昌
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 温度场 应力分布 有限元法 薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 527-530
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2309字
• 语种: 中文

摘要

为了对膜基系统的温度分布和应力分布进行模拟研究,采用ANSYS有限元分析软件,对高斯移动激光加载条件下TiN薄膜的温度场和由温度场产生的应力场进行了稳态分析.研究结果表明,温度场随激光光源的移动而移动,温度场中温度最大点在激光光斑中心处,且激光光源移动方向后方的温度场有较大的迟滞现象.在膜基系统中产生的应力场主要集中在薄膜内部.温度场和应力场的研究对探讨膜基系统失效进程具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯爱新	江苏大学机械工程学院	68	754	14.0	25.0
2	周建忠	江苏大学机械工程学院	202	1969	25.0	33.0
3	殷苏民	江苏大学机械工程学院	89	659	11.0	22.0
4	程昌	江苏大学机械工程学院	5	24	3.0	4.0
5	唐翠屏	江苏大学机械工程学院	2	7	1.0	2.0