掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究

• 作者: 何晓雄 巫邵波 李合琴 王淑占 赵之明
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控反应溅射 掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射光谱 扫描电子显微镜
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 225-229
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3276字
• 语种: 中文

摘要

本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N).拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1555.3 cm-1的G峰,ID/IG=0.45;X射线光电子能谱(XPS)表明薄膜含氮量为24%,XPS光谱的C1s和N1s的芯能级证实了薄膜中的碳氮进行了化合,形成了C-N、C=N、C≡N,说明薄膜中形成了非晶碳氮结构;傅里叶变换红外透射光谱(FTIR)也表明了薄膜中碳氮进行了化合;扫描电子显微镜(SEM)结果表明,实验所制备的薄膜表面均匀、致密、光滑,从横截面图像观察,薄膜与衬底结合紧密,薄膜的厚度大约为150 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何晓雄	合肥工业大学材料科学与工程学院	65	317	10.0	13.0
2	李合琴	合肥工业大学材料科学与工程学院	71	273	8.0	12.0
3	赵之明	合肥工业大学材料科学与工程学院	8	37	3.0	6.0
4	王淑占	合肥工业大学材料科学与工程学院	4	25	3.0	4.0
5	巫邵波	合肥工业大学材料科学与工程学院	4	25	3.0	4.0