30.4 nm正入射成像系统滤光片

• 作者: 何玲平 尼启良 王丽辉 王孝坤 陈波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: EUV滤光片 线性吸收系数 反射比 透过率 单色仪
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 42-47
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|TH743
• 字数: 2527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.01.008

摘要

多层膜反射镜是30.4 nm正入射望远镜的主要反射元件,但它在紫外、可见和近红外光波段也具有很高的反射率,需要滤光片来消除这些长波辐射,而滤光片材料和膜层厚度对滤光片的性能起重要作用.根据原子散射因子,理论计算出几种材料波长和线性吸收系数之间的关系,确认铝是30.4 nm波段滤光片的最好材料.在考虑透过率和膜强度的基础上,确定了滤光片的膜层厚度.改进了现有的由Mcpherson 247掠入射软X射线-真空紫外单色仪和气体空心阴极光源组成的光谱测量装置,使其适合于透过率的测量,其波长扫描精度为±0.017～±0.097 nm,对所制备的铝滤光片进行25.6～1 000 nm波段的透过率测量,测量结果显示其在30.4 nm 处的透过率为58.85%.为了比较全面地反映该种滤光片的透过率情况,又测量了它在紫外、可见和近红外波段的透过率,其值接近零,证明了该滤光片可满足30.4 nm成像系统的需要.