玻璃微珠球度测试研究

• 作者: 刘东月 姜淑华 王文生 陈方涵
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 显微物镜 数字图像处理 微小物体 高精度 非接触
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 57-59,56
• 页数: 4页
• 分类号: O439
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2008.01.018

摘要

把光学非接触、高精度的测试技术与电子图像细分(像素)技术相结合,把光电检测方法和计算机数字图象处理方法相结合,研制了显徽-CCD-微机系统,编制了VC++测试和控制软件.利用该系统,实现了微小物体的非接触、高精度、自动测试,解决了微米加工技术中微小物体的尺寸测试问题.作为实例,测试了玻璃微珠(半径17～31μm)的球度.实验表明,通过增大测量显微物镜的放大倍率(例如10倍),测试系统可以满足1μ的精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜淑华	长春理工大学光电工程学院	11	35	4.0	5.0
2	王文生	长春理工大学光电工程学院	88	556	13.0	16.0
3	陈方涵	长春理工大学光电工程学院	5	56	5.0	5.0
4	刘东月	长春理工大学光电工程学院	1	5	1.0	1.0