微小孔径场发射阵列的电子束特性数值模拟

• 作者: 徐枫 林祖伦 汪志刚 王小菊 高峰
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射 有限差分 电子束
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 固体电子器件及电路
• 页码范围: 800-802
• 页数: 3页
• 分类号: TN432
• 字数: 1371字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.03.015

摘要

以场发射基本原理为基础,简化三极管阵列模型,采用有限差分法对微孔径场发射阵列进行了三维模拟.通过改变栅极孔径和尖锥高度并保持其它参数不变的情况,从而获得阳极电子束斑的直径.得到不同情况下的阳极电子束光斑直径的变化.分析了导致电子束光斑大小变化的原因.得出与实际相符合的数值模拟,为试验提供设计依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林祖伦	电子科技大学光电信息学院	76	442	10.0	15.0
2	王小菊	电子科技大学光电信息学院	43	141	9.0	9.0
3	徐枫	电子科技大学光电信息学院	3	2	1.0	1.0
4	汪志刚	电子科技大学光电信息学院	8	64	4.0	8.0
5	高峰	电子科技大学光电信息学院	8	30	4.0	5.0