Mg2Ni贮氢薄膜的制备及组织结构研究

• 作者: 张乐观 徐君莉
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 工学
• 关键词: Mg2Ni 薄膜 磁控溅射 组织结构
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 72-73,89
• 页数: 3页
• 分类号: TQ13
• 字数: 1199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2008.06.027

摘要

采用磁控溅射法制备了Mg2Ni贮氢薄膜,考察了不同基体及基体温度对薄膜组织结构的影响.实验结果表明,Mg2Ni薄膜的表面形貌与衬底类型及衬底温度有关.玻璃片上溅射沉积的膜的表面形貌表面较为平整,而未抛光的Ni片上沉积的薄膜的生长明显存在着沿划痕方向生长的趋势,存在择优取向.另外,当基体温度升高时,薄膜的晶粒尺寸增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张乐观		8	140	5.0	8.0
2	徐君莉	东北大学理学院	24	260	9.0	15.0