低温等离子体诊断分析

• 作者: 唐恩凌 张庆明
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: 等离子体 朗缪尔探针法 微波透射法 光谱法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 测试·装备·应用
• 页码范围: 46-50
• 页数: 5页
• 分类号: TM206
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8887.2008.02.012

摘要

低温等离子体是空间主要环境之一,近年来被广泛应用于材料表面改性、能源、航空、环境科学及国防等方面.本文介绍了等离子体诊断的常用方法和适用范围.认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素:一是测量准确度(灵敏度);二是测试系统对等离子体产生的扰动较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张庆明	北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室	140	1199	18.0	27.0
2	唐恩凌	沈阳理工大学装备工程学院	53	239	9.0	12.0