声表面波气体传感器的研究进展

• 作者: 景玉鹏 李志刚 杨楷 陈大鹏
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 声表面波气体传感器 综述 响应时间 灵敏度 无源无线传感技术
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TN65
• 字数: 4678字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.09.008

摘要

介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题.展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志刚	中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	103	1906	24.0	41.0
2	陈大鹏	中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	79	466	10.0	17.0
3	景玉鹏	中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	10	115	7.0	10.0
4	杨楷	中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室	1	27	1.0	1.0