超精密微机械制造技术研究进展

• 作者: 于化东
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 微制造 三维微小零件 微机械
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TH16
• 字数: 5832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2008.03.001

摘要

随着航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工程技术的发展,对精密三维微小零件(特征尺寸在微米级到毫米级)的需求日益迫切.其结构形状的特异化、零件材料的多样化、尺寸与表面质量的高精度化成为三维微小零件及其微型装置及设备的显著特征,在使用功能、材料特性、结构形状、可靠性等方面的要求也越来越高.本文着重对超精密微机械制造技术的内涵、国内外研究现状和发展动态进行整理和描述,并对超精密微机械制造技术的未来发展趋势进行总结,为我国未来的先进制造技术研究与计划制订提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于化东		86	480	11.0	18.0