直线超声电动机在精密工作台中的应用

• 作者: 许航
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 超声电动机 直线电动机 精密平台
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 68-69
• 页数: 2页
• 分类号: TM359.4
• 字数: 2168字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2008.10.020

摘要

概括了传统精密工作平台的特征,综述了当今世界采用直线超声电机驱动的精密定位平台的研究现状及主要产品,列举了一些典型例子,并总结了采用直线超声电机驱动的精密定位平台的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许航		11	19	1.0	4.0