微波放电氢等离子体的特性诊断和分析

• 作者: 史磊 张洪宾 杨春林 符斯列 赖秀琼 陈俊芳 黄孟祥
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Langmuir探针 等离子体密度 发射光谱 Hα
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TL65
• 字数: 3324字
• 语种: 中文

摘要

在微波等离子化学气相沉积装置中,分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系,还分析了Hα(656.3 nm)的峰值强度与气压和功率的关系,得到了微波放电氢等离子体内部的基本特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈俊芳	华南师范大学物理与电信工程学院	69	768	12.0	26.0
2	符斯列	华南师范大学物理与电信工程学院	25	77	5.0	7.0
3	张洪宾	华南师范大学物理与电信工程学院	3	14	3.0	3.0
4	黄孟祥	华南师范大学物理与电信工程学院	3	8	2.0	2.0
5	杨春林	华南师范大学物理与电信工程学院	2	5	1.0	2.0
6	史磊	华南师范大学物理与电信工程学院	3	9	2.0	3.0
7	赖秀琼	华南师范大学物理与电信工程学院	3	9	2.0	3.0