相结构对氮化钛硼薄膜摩擦磨损性能的影响

• 作者: 王俊平 陆永浩
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiBxNy薄膜 相结构 摩擦磨损性能 氧化
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 28-32
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 2878字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2008.01.006

摘要

采用直流非平衡磁控溅射系统在单晶硅片表面制备TiBxNy薄膜,采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱议测定TiBxNy薄膜的相结构和成分,采用销-盘式摩擦磨损试验机研究TiBxNy薄膜的滑动干摩擦磨损性能,并采用光学显微镜、扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪表征薄膜的磨痕表面结构及其化学特征.研究表明:TiBxNy薄膜的相结构与N含量有关,在TiB0.65薄膜中加入N能够促使纳米晶TiN的形成;薄膜的摩擦系数和磨损率与其相结构有关,随着薄膜中TiN的体积分数增加,摩擦系数增大,磨损率降低;当薄膜中N含量约为37at.%时,TiN的体积分数和摩擦系数最高,磨损率最低;增加N含量促使h-BN相形成,且h-BN相的体积分数随N含量的增加而增大,h-BN相的形成降低了摩擦系数,增加了磨损率;在摩擦过程中磨屑发生氧化而生成钛的氧化物TiO、Ti2O3、TiO2以及少量硼(B)的氧化物.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆永浩	北京科技大学材料物理系	45	134	6.0	9.0
2	王俊平	北京建筑工程学院基础科学部	2	1	1.0	1.0