非晶硅薄膜太阳能电池生产简述

• 作者: 卢志安 赵国华 迟晓红
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅薄膜太阳能电池 PECVD a-Si
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 知识讲座
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 字数: 3226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2008.12.017

摘要

简述了非晶硅薄膜太阳能电池基本原理,论述了采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术生产非晶硅薄膜太阳能电池的工艺、产品性能参数及研究发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵国华		7	47	4.0	6.0
2	迟晓红		4	25	2.0	4.0
3	卢志安		8	18	2.0	4.0