外差干涉仪中偏振分光镜对测量精度的影响

• 作者: 谭久彬 钟志 陈洪芳
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 激光外差干涉 非线性误差 偏振分光镜
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2277字
• 语种: 中文

摘要

为了提高激光外差干涉的测量精度,必须明确偏振分光镜(PBS)对激光外差干涉测量精度的影响.基于激光外差干涉非线性误差产生机理,建立了PBS对非线性误差一次谐波和二次谐波的综合影响模型.理论分析表明,选用偏振透射率稍弱、偏振反射率强的PBS有利于减小非线性误差.在激光器出射的两激光束存在5°非正交误差情况下,当PBS的反射率理想时,透射率从1减小到0.90,非线性误差由4.41 nm减小到4.19 nm.同时,通过调整旋转角度可以补偿非线性误差一次谐波.在PBS存在5°旋转角度误差情况下,当PBS的反射率理想时,PBS的透射率从1减小为0.90,非线性误差一次谐波从4.41 nm减小到2.56 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	钟志	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	28	256	9.0	15.0
3	陈洪芳	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	30	144	8.0	11.0