小尺寸超高频双极晶体管工艺及特性模拟

• 作者: 刘岩 吴胜龙 李惠军 赵守磊
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 小尺寸 双极器件 频率特性 工艺仿真 特性模拟
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 193-197
• 页数: 5页
• 分类号: TN322.8
• 字数: 2731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.002

摘要

基于通信系统中射频电路设计的特殊要求,对小尺寸(基区宽度低于100 nm)、超高频(特征频率高于15 GHz)双极晶体管工艺制程和器件的物理特性进行了模拟,为工艺线流片进行可行性研究.该器件采用BiCMOS制程结构实现,在对小尺寸、超高频双极性器件物理模型进行详尽分析的基础上,实现了该器件工艺级(Sentaurus Process)及器件物理特性级(Sentaurus Device)的仿真,提出TCAD工艺及器件的一体化设计方案.模拟结果表明,在高频指标参数17 GHz下,所得β值接近于80,满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠军	山东大学孟堯微电子研发中心	51	103	5.0	7.0
2	刘岩	山东大学孟堯微电子研发中心	12	73	3.0	8.0
3	赵守磊	山东大学孟堯微电子研发中心	4	11	2.0	3.0
4	吴胜龙	山东大学孟堯微电子研发中心	2	0	0.0	0.0