新型MEMS气体传感器及其理论模型

• 作者: 严俊 李辉 罗雪松 苏凤 陈向东
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式 气体传感器 理论模型 硅薄膜 微电机系统 聚合物
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 集成电路设计与开发
• 页码范围: 435-439
• 页数: 5页
• 分类号: TP211.51
• 字数: 2695字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.05.019

摘要

提出了一种基于Si压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在Si薄膜表面的惠斯通电桥和在Si薄膜表面淀积的一层聚合物气敏薄膜构成.应用弹性力学薄板原理建立了该气体传感器中Si薄膜与聚合物薄膜相互作用的理论模型,提出了气体传感器的等效横向气体裁荷qg并由此导出了传感器的最终输出公式.理论分析表明该传感器的输出具有很好的线性,而且结构简单,无须加热,应用MEMS工艺技术可实现与信号处理电路的集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈向东	西南交通大学信息科学与技术学院	159	826	13.0	17.0
2	罗雪松	西南交通大学信息科学与技术学院	5	22	3.0	4.0
3	李辉	西南交通大学信息科学与技术学院	33	222	9.0	14.0
4	苏凤	西南交通大学信息科学与技术学院	4	24	4.0	4.0
5	严俊	西南交通大学信息科学与技术学院	1	6	1.0	1.0