nc-Si/SiNx超晶格薄膜实现Nd:YAG激光器调Q和锁模

• 作者: 张春华 徐骏 王启明 王国立 苏培林 郭亨群 陈坤基
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 nc-Si/SiNx超晶格薄膜 调Q 锁模 射频磁控反应溅射
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 页码范围: 905-909
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.1|O484
• 字数: 3011字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控反应溅射法制备a-Si/SiNx超晶格薄膜材料,热退火后形成纳米Si晶粒.把nc-Si/SiNx薄膜作为饱和吸收体插入Nd∶YAG激光器腔内,在腔长较短时,实现1.06 μm激光的被动调Q运转,获得最小脉宽23 ns的调Q单脉冲输出,当腔长增加到124 cm时,获得平均脉宽35 ps的锁模脉冲序列.根据实验现象结合薄膜结构,分析了材料调Q与锁模的产生机制,并研究了不同工作条件下的调Q输出性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐骏	南京大学物理学系	22	38	3.0	4.0
2	陈坤基	南京大学物理学系	31	53	5.0	6.0
3	王启明	中国科学院半导体研究所	118	735	14.0	20.0
4	郭亨群	华侨大学信息科学与工程学院	40	180	8.0	11.0
5	张春华	华侨大学信息科学与工程学院	8	26	3.0	4.0
6	王国立	华侨大学信息科学与工程学院	8	22	3.0	4.0
7	苏培林	华侨大学信息科学与工程学院	9	31	2.0	5.0