溶胶-凝胶法制备BiFeO3薄膜的结构及物性研究

• 作者: 刘保亭 张新 李丽 郭颖楠 闫小兵
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁酸铋薄膜 溶胶-凝胶法 铁电性能 漏电流
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1430-1434
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3224字
• 语种: 中文

摘要

应用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了BiFeO3薄膜,构架了Pt/BiFeO3/Pt电容器.采用X射线衍射仪和铁电测试仪研究了Pt/BiFeO3/Pt电容器的结构和物理性能.实验发现BiFeO3最佳的结晶温度为600 ℃,X射线衍射图谱显示BiFeO3薄膜结晶状况良好,原子力显微镜照片显示BiFeO3表面颗粒均匀.Pt/BiFeO3/Pt电容器具有良好的电学性能,在驱动电压为5 V的情况下,Pt/BiFeO3/Pt电容器的电滞回线具有良好的对称性,漏电流密度小于10-4 A/cm2,研究发现BiFeO3薄膜log(J)/log(E)关系满足空间电荷限制电流传导机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	郭颖楠	河北大学物理科学与技术学院	8	75	4.0	8.0
3	李丽	河北大学物理科学与技术学院	40	358	7.0	18.0
4	闫小兵	河北大学物理科学与技术学院	22	70	4.0	8.0
5	张新	河北大学物理科学与技术学院	10	38	2.0	6.0