利用 AFM 机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究

• 作者: 刘建喜 刘志鲁 赵晶 陈淼
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 十八烷基三氯硅烷(OTS) 纳米加工 摩擦力 力分布成像
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 2826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2008.01.002

摘要

在羟基化Si(111)表面制备十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单分子膜,利用AFM机械刻蚀技术,通过自编程序设计针尖走向,以金刚石针尖作为加工工具,在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面刻蚀不同结构的纳米图案,通过预设针尖移动距离和扫描头Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度.结果表明:利用原子力显微镜(AFM)机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案,其中载荷与加工深度基本呈线性关系;所获得的纳米图案结构清晰,刻蚀试验的重复性较好;经过刻蚀后的图案化区域为裸露的SiO2/Si表面,与OTS覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大,其表面性质具有明显的可分辨性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈淼	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	27	325	11.0	17.0
2	刘建喜	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	0	0.0	0.0