苏州纳迪首创国内超高纯硅溶胶

• 来源期刊: 无机硅化合物（天津）
• 学科: 工学
• 关键词: 苏州高新区 国内首创 硅溶胶 超高纯 电子化工材料 Cu-CMP 自主创新 环保产业
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 59
• 页数: 1页
• 分类号: TQ638

摘要

坐落在苏州高新区环保产业同的苏州纳迪微电子有限公司通过自主创新，研制开发出了一系列科技含量极高的微电子化工材料，其中“电子级超高纯硅溶胶”产品为国内首创，主要用于芯片工艺的Cu-CMP、硅晶圆片的最后一步抛光及高级彩色激光打印纸的表面处理等工序中，受到了市场青睐。