新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究

• 作者: 吕树海 徐永青 徐淑静 徐爱东 杨拥军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 三轴 对流场 加速度 传感器
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 219-221
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.007

摘要

介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量.分析了该器件的工作原理.设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机.测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2 g,分辨率达到1 mg,抗冲击能力达到10 000g,具备了良好的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐永青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	118	5.0	10.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	徐爱东	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	62	4.0	7.0
4	徐淑静	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	56	5.0	6.0
5	吕树海	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	16	2.0	3.0