低驱动电压MEMS电容开关设计与仿真

• 作者: 殷景华 纪奎 贺训军
• 来源期刊: 哈尔滨理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS电容开关 膜桥结构 有限元 驱动电压
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 90-93
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2683.2008.04.025

摘要

设计了膜桥支撑梁为弹簧弯曲结构的MEMS电容开关,应用有限元软件Intellisuite对开关静电驱动特性进行仿真,得到开关驱动电压,并分析不同膜桥材料对MEMS电容开关驱动电压的影响.结果表明,与固支结构悬臂梁相比,弹簧弯曲结构悬臂梁支撑的电容开关具有更低的驱动电压,由杨氏模量小的膜桥材料构成的开关具有比其他材料更低的驱动电压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷景华	哈尔滨理工大学应用科学学院	74	301	9.0	12.0
2	贺训军	哈尔滨理工大学应用科学学院	16	40	4.0	5.0
3	纪奎	哈尔滨理工大学应用科学学院	1	1	1.0	1.0