微机电系统在电子信息领域的应用

• 作者: 陈勇华
• 来源期刊: 电子工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 射频电路 传感器 汽车电子 消费电子
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 电子技术应用
• 页码范围: 71-74,77
• 页数: 5页
• 分类号: TN99
• 字数: 5744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4888.2008.11.022

摘要

借助于当代先进的大规模集成电路制造工艺,MEMS(微机电系统)技术将多种光、机、电功能器件集成于一体,真正实现了传统意义上的光机电一体化、微型化、数字化和智能化,在汽车工业、航空航天、消费电子等领域得到了越来越广泛的应用,实现了电子信息技术的新飞越.文中主要阐述MEMS在基础电子元器件、通信、汽车电子、消费电子等电子信息领域的发展应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇华		8	75	3.0	8.0