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基于垂直扫描显微干涉技术的高精度轮廓仪
基于垂直扫描显微干涉技术的高精度轮廓仪
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 基于垂直扫描显微干涉技术的高精度轮廓仪 | ||
| 来源期刊 | 上海大学学报(英文版) | 学科 | 工学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2008,（3） | 所属期刊栏目 | 机电工程 |
| 研究方向 | 页码范围 | 255-260 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TH74 |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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