MEMS可变电容的研究现状及进展

• 作者: 刘海文 李玲玉 杨月寒 童富 赵建明
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平行板可变电容 面积调谐可变电容 微机电系统(MEMS) Q值 调谐范围 射频
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 287-292
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TM532.5
• 字数: 2664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.05.009

摘要

介绍了微机电系统(MEMS)技术以及MEMS可变电容器,基于MEMS的可变电容具有高Q值、低损耗、宽调节范围和低噪声等优点,阐述了MEMS可变电容器设计的基本原理,列举了现有的几种典型结构模型.通过指定频率下Q值及调谐范围的具体数值,比较不同结构的MEMS可变电容的特点,展望了MEMS可变电容的发展并得出结论.