考虑边缘效应的微镜静电力学性能分析

• 作者: 向宇 袁丽芸 陆静 马小强
• 来源期刊: 工程力学
• 学科: 工学
• 关键词: 微镜 静态特性 吸合效应 静电力 边缘效应
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 其他工程学科
• 页码范围: 235-240
• 页数: 6页
• 分类号: TP211
• 字数: 3184字
• 语种: 中文

摘要

该文基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式,建立了扭转微镜的非线性静力学模型,分析了边缘效应对微镜静态特性和吸合特性的影响,并通过与实验数据的比较,证明该文所建立的模型更接近于实际.数值分析表明,微镜的激励电压、微镜电极的几何尺寸等参数都会影响微镜的边缘效应,从而使微镜的静态响应产生较大的误差.因此,在某些情况下分析微镜力学性能时必须考虑边缘效应的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向宇	广西工学院汽车工程系	71	505	12.0	19.0
2	袁丽芸	广西工学院汽车工程系	20	95	6.0	8.0
3	陆静	广西工学院汽车工程系	24	88	6.0	8.0
4	马小强	广西工学院汽车工程系	18	139	8.0	11.0