一种电容式硅微机械麦克风的设计与制造

• 作者: 董健
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式硅微机械麦克风 三层复合敏感膜 铜底板
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 学术·论文
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TH12
• 字数: 3734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2008.04.011

摘要

给出了一种电容式硅微机械麦克风的设计和制造方法.该微机械麦克风在单一硅片上制作,麦克风的两个电极由1个3层复合敏感膜和1个带有通气孔的金属铜底板构成,敏感膜与底板之间采用牺牲层技术形成空气间隙.测试结果表明,该硅微机械麦克风适合在工业界推广应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董健	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	16	46	3.0	5.0