偏压对电弧离子镀CrNx薄膜结构和机械性能的影响

• 作者: 卢春灿 文晓霞 杨娟 聂朝胤 谢红梅 陈志谦
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: CrNx薄膜 表面形貌 相结构 显微硬度 耐磨性 电弧离子镀 不锈钢 偏压
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444|TB43
• 字数: 2910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2008.03.009

摘要

采用电弧离子镀技术在不锈钢基体表面制备了CrNx薄膜,并采用场发射扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、球-盘式摩擦磨损试验机等手段对在不同偏压下沉积的CrNx薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和摩擦学性能进行考察.结果表明:随着偏压的增加, CrNx薄膜沉积率下降,厚度降低,CrNx薄膜表面颗粒逐渐变少,表面粗糙度降低,结晶度增大,晶粒尺寸增加;CrNx薄膜由Cr2N相和CrN相组成,薄膜的择优取向发生较大变化.当偏压为-100V时,CrNx薄膜的表面结构最致密,硬度最高,抗磨损性能最强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂朝胤	西南大学材料科学与工程学院	32	249	9.0	14.0
2	杨娟	西南大学材料科学与工程学院	83	463	11.0	18.0
3	谢红梅	西南大学材料科学与工程学院	10	100	6.0	10.0
4	卢春灿	西南大学材料科学与工程学院	7	59	5.0	7.0
5	陈志谦	西南大学材料科学与工程学院	70	438	13.0	17.0
6	文晓霞	西南大学材料科学与工程学院	5	14	3.0	3.0